[21a-135-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21a-135-10] クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御

〇甲斐 春貴¹、阿部 成海¹、熊谷 祐希¹、岩村 航²、久保田 弘¹、橋新 剛¹、吉岡 昌雄² (1.熊大院自、2.熊大工)

キーワード：半導体、シミュレーション