[21a-234B-1~9] 6.4 薄膜新材料

[21a-234B-2] 高温用Cr-Al-Nひずみセンサ薄膜の組織と特性

〇丹羽 英二¹ (1.電磁研)

キーワード：Cr-Al-N薄膜、ひずみセンサ、高温

著者は、高温での力学量検知用ひずみセンサ材料としてCr基薄膜に着目し、これまで約500℃までの高温域におけるCr、Cr-N、Cr-Mn、Cr-AlおよびCr-Al-N薄膜の特性を調べ、Cr基薄膜が高温用高感度ひずみセンサへの応用に可能性があることを示した。本報では、その特性の起源解明に向けて、ゲージ率が約8など高温での特性が良好なCr-Al-N薄膜の断面観察および分析等を行い、その組織ならびに構造について調べた。