[21a-PA2-1~28] 12.1 作製・構造制御

[21a-PA2-19] 低コストフレキシブルRFIDタグに向けたIGZO縦型電界効果トランジスタと低温超音波法によるアンテナの作製

〇佐藤 祐樹¹、角田 航¹、山内 博¹、岡田 悠悟²、酒井 正俊¹、飯塚 正明³、工藤 一浩¹ (1.千葉大学大学院工学研究科、2.、千葉大学先進科学センター、3.千葉大学教育学部)

キーワード：RFID

本研究ではフレキシブル情報タグ用の電界効果トランジスタ(FET)とアンテナをフィルム上に作製した。熱ナノインプリントリソグラフィー技術を利用して、段差構造を利用した縦型FET(SVC-FET)を作製した。活性層には低温で成膜できることなどからIGZOをRFスパッタ法および塗布法によって作製した。アンテナは、銀と比較し低コストの銅インクを用い、超音波焼成法により200℃以下の低温での焼成を可能とした。