[21a-PA3-1~20] 13.8 光物性・発光デバイス

[21a-PA3-1] 基板温度を変化させて作製したZnOミストCVD膜の結晶性と発光特性(２)

〇齋藤 嘉騎¹、佐伯 祥吾¹、菅野 剛志¹、西川 幸志¹、髙﨑 紘¹、深田 晴己¹、山口 敦史¹ (1.金沢工大)

キーワード：ミストCVD、ZnO、発光