[21p-222-1~8] 7.5 イオンビーム一般

[21p-222-4] 画像分析技術のイメージングSIMS分析への応用

〇青木 学聡¹、瀬木 利夫²、松尾 二郎² (1.京大メディア、2.京大工)

キーワード：二次イオン質量分析、画像分析

二次イオン質量分析(SIMS)では, 高精細な分子量に関する情報が取得できる一方, 生体材料のように, 組成が複雑, さらにそれらの構成分子が多数のフラグメントを生じる場合, 得られた質量分布から元の材料を同定することは極めて困難である. 本研究では, 質量に加え空間分布の情報を含むイメージングSIMSスペクトルデータに対し, 画像分析技術を援用することで, スペクトル分析の高度化を検討する.