[21p-224B-1~8] 2.2 検出器開発

[21p-224B-4] トリガ出力可能な光子計数型X線CMOS-SOIピクセル検出器の開発

〇鶴 剛¹、原田 颯大¹、奥野 智行¹、田中 孝明¹、内田 裕之¹、武田 彩希²、森 浩二²、幸村 孝由³、川人 祥二⁴、新井 康夫⁵、倉知 郁生⁵ (1.京大理、2.宮崎大工、3.理科大理、4.静大電研、5.KEK)

キーワード：Ｘ線撮像分光器、半導体検出器、SOIピクセル検出器

X線光子計数型のCCD，CMOS撮像検出器は，X線検出の有無にかかわらず，全てのピクセルを読み出さなければならない．従って測定効率が低く，時間分解能も低い．そこで，私達は各ピクセルに閾値回路を設け，X線がヒットしたピクセルのみを読み出すことが可能な，X線CMOS-SOIピクセル検出器の開発に行っている．これまでに時間分解能約1µsec，6keVX線に対する分解能約200eV (FWHM)，ピクセルサイズ36µｍ角の裏面照射型センサを実現した．