[21p-233-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-233-4] ミニマルファブを用いたTiN SOI-CMOS 2入力NANDゲートの試作

〇森川 剛一¹、竹内 浩造¹、五十嵐 泰史¹、新藤 浩之¹、クンプアン ソマワン²、原 史朗² (1.宇宙航空研究開発機構、2.産業技術総合研究所)

キーワード：ミニマルファブ、2入力NANDゲート