[21p-CE-1~5] IoTに資する高周波デバイスにおける機能性酸化物の役割

[21p-CE-3] 高周波無線通信技術を支えるLTCC材料・プロセス技術

〇杉本 安隆¹ (1.村田製作所)

キーワード：LTCC、マイクロ波、共焼結

スマートフォンをはじめとする無線通信の分野の発展は著しいが、LTCC材料,プロセス技術は、高周波回路の小型化、低損失化、高機能化において重要な技術となっている。低電気抵抗率のAgやCu電極やその他異種機能材料と共焼結可能なLTCC材料に関して、実用化に至った3つの材料、プロセス技術の報告を行う。