[21p-CE-1~5] IoTに資する高周波デバイスにおける機能性酸化物の役割

[21p-CE-5] 最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ

〇柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大、2.JST さきがけ、3.材研)

キーワード：圧電薄膜、BAWフィルタ、AlN

近年、BAWフィルタ(FBAR)は5G以降の3 GHzを超えるフロントエンドの周波数フィルタとして有望視されている。本講演ではBAWフィルタ用の圧電薄膜に要求される性能や、窒化物薄膜と酸化物薄膜の比較、成膜時の問題点、評価方法について議論する。