[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[21p-PB1-11] MoS₂膜の層数制御成長と水素プラズマ処理によるS/Mo比の依存性

〇杉山 雅浩¹、荻野 明久^1,2 (1.静大院工、2.静大工)

キーワード：マイクロ波励起水素プラズマ、二硫化モリブデン