[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[21p-PB1-17] 水中パルス細線放電法を用いた複合ナノ粒子の作製

〇床井 良徳¹、Saperi Abdul Tasha¹ (1.長岡高専)

キーワード：パルス細線放電法、複合ナノ粒子、水中

水中パルス細線放電法においてNi、Al、Ti、Cuなどの細線を2種類より合わせたより線を用いて、複合ナノ粒子の作製を試みた。その結果、CuとNiをより合わせたより線を用いる事で、CuNiの合金ナノ粒子の作製が確認された。Niに対してAlやTiをより合わせたより線を用いた場合には、NiとAlやTiの酸化物が確認された。