[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[21p-PB1-2] プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成（III）

〇竹中 弘祐¹、遠藤 雅¹、吉谷 友希¹、内田 儀一郎¹、江部 明憲²、節原 裕一¹ (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)

キーワード：スパッタリング、機能性薄膜