[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[21p-PB1-8] マイクロ波表面プラズマパルス化によるグラフェン薄膜の形成

〇馬渕 陽太¹、曽我 哲夫¹、梅野 正義² (1.名工大、2.シーズテクノ)

キーワード：グラフェン、プラズマ、パルス