[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[21p-PB1-9] エチレンプラズマ中でのアモルファス炭素膜の堆積反応の赤外分光計測，他の炭化水素プラズマとの反応の違い

〇篠原 正典¹、冨永 泰佑¹、下村 勇登¹、猪原 武士¹、柳生 義人¹、大島 多美子¹、川崎 仁晴¹ (1.佐世保高専)

キーワード：多重内部反射赤外吸収分光法、エチレン、堆積過程

浮遊電位の基板上にエチレンプラズマで成膜した場合，膜中の炭化水素成分はsp3の成分しか形成されなかった。プラズマ中では，文献によるとC₂H₃が生成される。基板に吸着する際に，sp3成分に変化すると考えられる。膜堆積中の反応モデルについて考察したので，発表する。