[21p-PB4-1~8] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[21p-PB4-5] ドライエッチングプロセスによるCaF₂/Si/CaF₂共鳴トンネル構造の室温微分負性抵抗特性

〇(M2)熊谷 佳郎¹、大野 綜一郎¹、廣瀬 皓大¹、福山 聡史¹、利根川 啓希¹、渡辺 正裕¹ (1.東工大工学院)

キーワード：共鳴トンネルダイオード