[21p-PB6-1~10] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21p-PB6-6] SOI-Si/4H-SiC基板貼り合わせを用いた耐放射線画素デバイスの検討

〇目黒 達也¹、長谷部 史明¹、牧野 高紘²、大島 武²、田中 保宣³、黒木 伸一郎¹ (1.広島大学ナノデバイス、2.量研機構、3.産総研)

キーワード：SiC、貼り合わせ、イメージセンサ