14:30 〜 14:45 [19p-D103-5] 熱分解炭素被覆サセプタを用いたSiCエピリアクター繰り返しクリーニング 〇倉島 圭祐1、羽深 等1、伊藤 英樹2、三谷 慎一2、高橋 至直3 (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)