16:00 〜 18:00 [19p-P11-28] スパッタ成長ZnO単結晶層を用いたH2ガスセンサの開発 〇久米井 俊哉1、仲道 将太1、藤川 明日香1、小倉 康平1、信太 智貴1、水野 愛1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)