16:00 〜 18:00 [17p-P12-14] n型GaNにおけるICPエッチング誘起欠陥のDLTS評価 〇大森 雅登1、山田 真嗣1,2、櫻井 秀樹1,2、長田 大和2、上村 隆一郎2、須田 淳1、加地 徹1 (1.名大未来研、2.(株)アルバック半電研)