Nithi Atthi

発表者・著者、共著者

2018年3月20日(火) 13:00 〜 16:15 B401 (53-401)

一般セッション(口頭講演)
| 7 ビーム応用
| 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20p-B401-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

13:15 〜 13:30

▲ [20p-B401-2] Fabrication of PDMS with 3D Microstructure for Antibacterial Antifouling Applications

〇Nithi Atthi¹、Preeyawis Na Ubol²、Wisaroot Sripumkhai¹、Pattaraluck Pattamang¹、Rattanawan Meananeatra¹、Jakrapong Supadech¹、Wutthinan Jeamsaksiri¹、Charndet Hruanun¹ (1.Nat.Elec.&Com.Tech.Center、2.Nat.Metal&Mat.Tech.Center)

2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P7 (ベルサール高田馬場)

一般セッション(ポスター講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

13:30 〜 15:30

▲ [17p-P7-3] Improvement of Poly-Si Wet Etching for Fusion Bonding of MEMS Pressure Sensor

Jirawat Jantawong¹、〇Nithi Atthi¹、Apirak Pankiew¹、Chana Leepattarapongpan¹、Kathirgamasundaram Sooriakumar²、Wutthinan Jeamsaksiri¹、Charndet Hruanun¹ (1.Nat.Elec.&Com.Tech.Center、2.IR sensor&systems)

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