10:30 〜 10:45 [20a-E201-6] Ga2O3 (010)基板上にRF-MBE成長した(AlGa)2O3薄膜の構造解析 リンガパルティ ラビキラン1、中田 義昭1、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、〇東脇 正高1 (1.情通研機構、2.タムラ製作所)