13:30 〜 15:30 [17p-P7-21] LSI微細孔のための超臨界エタノールを用いたCNM埋め込み―Co/Al2O3/SiO2基板の場合― 〇(B)大渡 純1、松前 祐希1、宇原 祥夫1、伊藤 勝利1、斉藤 茂1 (1.東理大工)