15:45 〜 16:00 [20p-B401-11] ナノインプリントにおけるレジスト収縮による形状予測とその補正 飯田 達矢1、〇渡辺 謙太1、安田 雅昭1、川田 博昭1、平井 義彦1 (1.大阪府立大 院 工)