13:30 〜 15:30 [19p-P5-22] ε-Ga2O3のエピタキシャル合成と誘電特性評価 〇遊佐 昴1、岡 大地1、福村 知昭1,2,3 (1.東北大理、2.東北大 WPI-AIMR、3.東北大 CSRN)