09:30 〜 11:30 [19a-P4-4] 逆格子空間マッピングと角度分解トポグラフィーによるAlイオン注入SiC基板の歪状態の観察 〇高橋 由美子1、平野 馨一2、志村 考功3、長町 信治4 (1.日大量科研、2.KEK-PF、3.⼤阪⼤院⼯、4.(株)⻑町サイエンスラボ)