10:00 〜 10:15 △ [20a-E202-5] イオン注入したGaNの光熱偏向分光法による評価 〇福田 清貴1,2、尾沼 猛儀2、山口 智広2、本田 徹2、岩井 秀夫1、Sang Liwen1、角谷 正友1 (1.物質材料研究機構、2.工学院大学)