13:30 〜 15:30 [17p-P1-3] ta-C薄膜における深紫外ラマンスペクトル変化の照射温度依存性 〇神津 知己1、堀 諒子1、山口 誠1、川口 雅弘2、吉村 雅満3 (1.秋田大学、2.都立産技研究センター、3.豊田工大)