16:00 〜 18:00 [17p-P12-2] GaN基板上のp-GaNエピ膜に対するショットキーバリア特性 〇松山 秀昭1、上野 勝典1、高島 信也1、田中 亮1、福島 悠太1、江戸 雅晴1 (1.富士電機)