13:30 〜 15:30
〇米谷 玲皇1,2、奥野 将人2、割澤 伸一1,2 (1.東大院新領域、2.東大院工)
米谷 玲皇
発表者・著者、共著者
2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P7 (ベルサール高田馬場)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P7 (ベルサール高田馬場)
13:30 〜 15:30
〇米谷 玲皇1,2、奥野 将人2、割澤 伸一1,2 (1.東大院新領域、2.東大院工)