13:30 〜 15:30
〇中島 英亮1、Tso-Fu Mark Chang1、Chun-Yi Chen1、山根 大輔1、小西 敏文1,2、町田 克之1、年吉 洋3、益 一哉1、曽根 正人1 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大)
中島 英亮
発表者・著者、共著者
2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P7 (ベルサール高田馬場)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P7 (ベルサール高田馬場)
13:30 〜 15:30
〇中島 英亮1、Tso-Fu Mark Chang1、Chun-Yi Chen1、山根 大輔1、小西 敏文1,2、町田 克之1、年吉 洋3、益 一哉1、曽根 正人1 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大)