09:45 〜 10:00 [18a-D103-4] 原料溶解プロセスにおけるCO発生挙動とCZシリコン単結晶の炭素濃度への影響 〇永井 勇太1、坪田 寛之1、松村 尚1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)