16:45 〜 17:15 [18p-C204-7] 格子整合条件を超えて原子平坦表面を実現する新規スパッタエピタキシー技術の開発~ZnO on sapphireを例に~ 〇板垣 奈穂1、岩崎 和也1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大シス情)