13:45 〜 14:00 [18p-C302-1] GaN基板上原子層堆積Al2O3膜電気伝導特性の動的帯電モデル 〇平岩 篤1,2、大久保 智3、堀川 清貴3、川原田 洋1,3,4 (1.早大ナノ・ライフ、2.名大未来研、3.早大理工、4.早大材研)