17:30 〜 17:45 [18p-F306-14] タングステン上のTa2O5薄膜のpH応答と界面生成物についての検討 〇山内 友輔1、飛沢 健1、岩田 達哉1,2、村上 健介1、高橋 一浩1,2、澤田 和明1,2 (1.豊橋技科大、2.エレクトロニクス先端融合研究所)