16:00 〜 18:00 [18p-P14-3] ミラー電子顕微鏡による4H-SiCエピウェハーの転位観察 〇一色 俊之1、佐藤 高広1,2、長谷川 正樹2、大平 健太郎2、小林 健二2、宮木 充史2、小貫 勝則2 (1.京都工繊大、2.日立ハイテク)