14:30 〜 14:45 [19p-C204-4] プラズマと熱サイクルを用いたタングステンの原子層レベルエッチング 〇篠田 和典1、花岡 裕子2、三好 信哉1、小林 浩之1、川村 剛平2、伊澤 勝2、石川 健治3、堀 勝3 (1.日立研開、2.日立ハイテク、3.名大)