15:00 〜 15:15 △ [19p-C302-6] リセスゲートAlGaN/GaN MOS-HFETへのAlONゲート絶縁膜の導入 〇(M2)渡邉 健太1、野崎 幹人1、山田 高寛1、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)