16:00 〜 18:00 [19p-P11-13] GaNテンプレート上ε-Ga2O3薄膜のドライエッチング 〇宮内 信宇1、中村 昌幸2、小林 貴之2、西中 浩之1、田原 大祐1、森本 尚太1、本山 慎一2、吉本 昌広1 (1.京都工繊大、2.サムコ株式会社)