16:00 〜 18:00 [19p-P11-18] β-Ga2O3のRF-MBE成長における窒素取り込み 〇中田 義昭1、上村 崇史1、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、東脇 正高1 (1.情通機構、2.タムラ製作所)