09:30 〜 11:30 [20a-P9-4] Cat-CVD SiNx膜での微細テクスチャ結晶Si表面パッシベーションの特性改善 〇劉 静1、大八木 伸2、山本 裕三2、大平 圭介1 (1.北陸先端大、2.攝津製油)