13:30 〜 15:30 [20p-P4-5] エーテルを用いたプラズマ化学気相堆積過程の赤外分光計測 〇篠原 正典1、冨永 泰佑1、下村 勇登1、猪原 武士1、柳生 義人1、大島 多美子1、川崎 仁晴1 (1.佐世保高専)