出展者情報

[T-10] AOV

1. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置　2. 真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等） 3. 複合型PLD /MBE蒸着装置 4. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置