[17a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17a-C101-2] 大気圧熱プラズマジェット照射と高速度カメラ組み込み型回転ステージによる結晶成長のリアルタイム観察

〇水川 友里¹、中野 航¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマジェット