[17a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [17a-C101-4] ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(Ⅲ)

〇(B)三野 伸晃¹、横川 凌^1,3、鈴木 貴博¹、高橋 和也²、小森 克彦²、森本 保²、澤本 直美¹、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株、3.学振特別研究員)

キーワード：ラマン分光法、ナノ結晶構造、多結晶シリコン