[17a-C202-1~7] 17.2 Graphene

[17a-C202-6] Electric transport property of graphene nanoribbon on SiC treated by extreme low pressure oxygen etching

〇Yuya Mizuno¹, Ito Seiichiro¹, Horibe Masashi², Nakahara Hitoshi², Saito Yahachi² (1.School of Eng. , Nagoya Univ., 2.Graduate School of Eng. , Nagoya Univ.)

Keywords:Graphene nanoribbon, Thermal decomposition of SiC, Electric transport measurement

SiC熱分解法でグラフェンナノリボン(GNR)を作製し、GNRとつながったバッファ層を極希薄酸素雰囲気エッチングで除去した。このGNRについて4探針法による電気伝導測定を行い、抵抗値の探針間距離依存性及び抵抗値の温度依存性について測定した。この結果、室温においてGNRの抵抗値が探針間距離に依存しないバリスティックな伝導特性を得た。