11:30 〜 11:45 [17a-C202-6] 極希薄酸素エッチング処理したSiC上グラフェンナノリボンの電気伝導特性 〇水野 悠也1、伊藤 誠一朗1、堀部 真史2、中原 仁2、齋藤 弥八2 (1.名大工、2.名大院工)