2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.2 グラフェン

[17a-C202-1~7] 17.2 グラフェン

2018年3月17日(土) 10:00 〜 12:00 C202 (52-202)

楠 美智子(名大)

11:30 〜 11:45

[17a-C202-6] 極希薄酸素エッチング処理したSiC上グラフェンナノリボンの電気伝導特性

水野 悠也1、伊藤 誠一朗1、堀部 真史2、中原 仁2、齋藤 弥八2 (1.名大工、2.名大院工)

キーワード:グラフェンナノリボン、SiC熱分解法、電気伝導測定

SiC熱分解法でグラフェンナノリボン(GNR)を作製し、GNRとつながったバッファ層を極希薄酸素雰囲気エッチングで除去した。このGNRについて4探針法による電気伝導測定を行い、抵抗値の探針間距離依存性及び抵抗値の温度依存性について測定した。この結果、室温においてGNRの抵抗値が探針間距離に依存しないバリスティックな伝導特性を得た。