[17a-C202-1~7] 17.2 グラフェン

[17a-C202-6] 極希薄酸素エッチング処理したSiC上グラフェンナノリボンの電気伝導特性

〇水野 悠也¹、伊藤 誠一朗¹、堀部 真史²、中原 仁²、齋藤 弥八² (1.名大工、2.名大院工)

キーワード：グラフェンナノリボン、SiC熱分解法、電気伝導測定

SiC熱分解法でグラフェンナノリボン(GNR)を作製し、GNRとつながったバッファ層を極希薄酸素雰囲気エッチングで除去した。このGNRについて4探針法による電気伝導測定を行い、抵抗値の探針間距離依存性及び抵抗値の温度依存性について測定した。この結果、室温においてGNRの抵抗値が探針間距離に依存しないバリスティックな伝導特性を得た。