[17a-F202-1~11] 7.4 Buried interface sciences with quantum beam

[17a-F202-10] X-ray Reflectivity Measurement of Thin Films Formed on Flexible Substrates
- Fixing Methods of Thin Plastic Films -

〇Kodai Tokunaga¹, Hiroyuki Uebayashi¹, Takayuki Tajiri², Makoto Sato¹, Atsushi Kohno² (1.Toray Industries Inc., 2.Fukuoka Univ.)

Keywords:X-ray reflectivity, flexible, film

薄いフィルム上に作製した薄膜のＸ線反射率を測定するためには、フィルム自体の反りやうねりを抑えて固定する手法が必要不可欠である。我々は、PET（厚さ10～200mm）などの薄いフレキシブル基板上に形成した薄膜のＸ線反射率測定・解析を行うためのサンプル固定法を考案した。本発表では、開発した固定法を紹介し、PETフィルム上の薄膜の測定・解析を行った結果について報告する。