[17a-F202-1~11] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[17a-F202-10] フレキシブル基板上の薄膜のＸ線反射率測定
～簡便かつ再現性の高い試料固定法とその活用～

〇徳永 幸大¹、上林 浩行¹、田尻 恭之²、佐藤 誠¹、香野 淳² (1.東レフィルム研、2.福岡大理)

キーワード：X線反射率、フレキシブル、フィルム

薄いフィルム上に作製した薄膜のＸ線反射率を測定するためには、フィルム自体の反りやうねりを抑えて固定する手法が必要不可欠である。我々は、PET（厚さ10～200mm）などの薄いフレキシブル基板上に形成した薄膜のＸ線反射率測定・解析を行うためのサンプル固定法を考案した。本発表では、開発した固定法を紹介し、PETフィルム上の薄膜の測定・解析を行った結果について報告する。